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VTC-16-3HD ,3靶等離子濺射儀,是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為Ø50mm,加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復膜的樣品。《查看更多》
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